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STMicroelectronics
2020/11/05
意法半導體與A*STAR和ULVAC攜手合作，在新加坡成立世界首個“Lab-in-Fab”實驗室，推進壓電式MEMS技術應用
- 與A*STAR的微電子研究所（IME）和日本製造工具供應商ULVAC(愛發科株式會社)合作，以壓電式MEMS技術為重點研發方向
- 首創概念，旨在加快概念驗證到量產的轉化，並推動壓電式MEMS在AR/VR、醫療和3D列印等新產品中的應用
- 預計2021年第二季度產出第一批晶圓，2022年底開始量產
Lab-in-Fab實驗室包括意法半導體在宏茂橋工業園區內的一個新建潔淨室區，將配備三個合作方提供的工具設備和專用資源，為MEMS研發制程科學家和工程師提供工作場所。IME微電子在壓電式MEMS器件設計、工藝整合和系統集整合方面的知識庫和產業驅動力將為研發生產線的發展提供積極的增值作用。IME還將提供最先進的工具設備，確保科技創新成果順利轉化為產品，全部過程都在同一地點完成。新研發生產線還將利用意法半導體現有資源，發揮在同一園區內的ST晶圓廠的規模經濟優勢。預計“Lab-in-Fab”設施將在2021年第二季度建成啟用並產出首批晶圓，在2022年底實現量產。
意法半導體模擬器件、MEMS和感測器(AMS)產品部總裁Benedetto Vigna表示：「我們與IME和ULVAC此前已有過較長的合作經驗，這次新合作旨在共同創辦世界領先的壓電式MEMS材料、技術和產品研發中心。這個全球首創實驗室將設在意法半導體的戰略要地新加坡工廠。Lab-in-Fab將讓我們的客戶能夠輕鬆完成從概念可行性研究到產品量產的轉化過程。」
此次合作可增強意法半導體新加坡公司現有的製造工藝組合，並加快前景廣闊的新應用領域採用壓電式MEMS執行器，新興應用包括智慧眼鏡、AR頭戴設備和雷射雷達系統使用的MEMS微鏡；新興醫療設備使用的壓電微機械超聲波換能器（PMUT），以及商用和工業用3D印表機的壓電式打印頭。
IME執行院長Dim-Lee Kwong教授表示：「IME、ST和ULVAC之間的公私合作專案構建了一個獨特的研發生產線，這個生產線將採用壓電材料開發創新產品，增強合作夥伴的競爭力。這些努力將會讓高價值的研發活動繼續紮根於新加坡，並證明新加坡仍是行業龍頭開展技術創新和發展業務的首選地區。A * STAR將致力於幫助本地中小企業開發、利用我們的技術。我們歡迎企業與IME合作，並利用我們的Lab-in -Fab實驗室設施做概念驗證。」
ULVAC 執行官、高級研究員Koukou SUU博士表示：「我們很高興成為ST和IME的“Lab-in-Fab”合作夥伴，為眾多前景廣闊的未來應用開發先進的壓電式MEMS產品，這也充分證明了ULVAC在壓電MEMS製造技術解決方案市場上的領先地位。我們期待與合作夥伴密切合作，使合作圓滿成功。」 (新聞來源：STMicroelectronics 官網)
